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無塵室有哪些常用名詞


德信致遠(yuǎn)小編來為大家總結(jié)下無塵室的常用名詞:
 無塵室有哪些常用名詞
1.無塵室
 
無塵室是一個為了對空間內(nèi)空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建筑。一般而言,無塵室也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環(huán)境因素做控制。
 
2.微粒控制
 
微??刂频牡谝徊?,是把室內(nèi)微粒對制程影響的程度做完整分析,然后針對分析結(jié)果,制定恰當(dāng)?shù)奈⒘?刂品绞脚c無塵室管理模式,才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時,需特別注意數(shù)據(jù)的量化,也就是粒徑與其數(shù)量對制程的影響,才是有用的數(shù)據(jù)。
 
3.外來污染源
 
從無塵室外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源,外來污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入,另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。
 
4.內(nèi)部污染源
 
無塵室內(nèi)部產(chǎn)生污染的來源,一般是制程機器與操作員工,嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。
 
5.隔離
 
隔離是污染控制的一種觀念,也就是讓污染源隔絕在無塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無塵環(huán)境,例如 Class 100,Class 10,Class 1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵室,或是使用迷你潔凈室將機臺整個包住。
 
6.稀釋
 
稀釋是污染控制的另一種觀念,多應(yīng)用在潔凈度不高的無塵室。例如在 Class 10000的無塵室,因為換氣量不大,制程與人員產(chǎn)生的粒子就會在室內(nèi)打轉(zhuǎn),要比較常的時間才會排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度,讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級之下就可以了,部要求把人員與制程隔開。使用稀釋法作為??刂茣r,要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性,能掌握微粒的產(chǎn)生速率,才能有效的稀釋微粒。
 
7.氣流模式
 
流場型態(tài),氣流分布,氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式,因此愈潔凈的無塵室或是無塵區(qū)域,對氣流模式的掌控就愈重視?;旧弦日莆諝饬髂J?,才能掌握潔凈度。
 
8.單一流向型氣流
 
氣流以同一個方向移動,這種無塵室稱為單一流向型無塵室,以前稱為層流型無塵室,定義并無多大改變。高潔凈度無塵室需要單一流向型氣流。
 
9.非單一流向型氣流
 
氣流方向不受控制,就是所謂的亂流型無塵室,潔凈度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
 
10.As-built cleanroom(剛完工的無塵室)
 
已經(jīng)完成且可以操作,所有相關(guān)支持設(shè)施皆已完成的潔凈室,但并沒有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。
 
11.At-rest cleanroom(準(zhǔn)備中的無塵室)
 
已經(jīng)完成且可以操作,所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動作的無塵室,設(shè)備已加載并可以操作或已在運轉(zhuǎn),但沒有操作設(shè)備的人員。
 
12.Operational cleanroom(操作中的無塵室設(shè)施)
 
一個已在正常運轉(zhuǎn)的無塵室,所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動作,設(shè)備及人員皆已加載,運轉(zhuǎn)狀況可以呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。
 


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