無塵室工程怎么布置

當(dāng)凈化空調(diào)機(jī)房位于潔凈廠房內(nèi)時(shí)，德信致遠(yuǎn)小編建議應(yīng)根據(jù)無塵室工程的空氣潔凈度等級、面積、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、防止污染或交叉污染的要求與運(yùn)行時(shí)間、班次等因素，考慮系統(tǒng)的合理劃分，確定相應(yīng)的機(jī)房布局。

1、集中設(shè)置，這類機(jī)房在廠房內(nèi)位置的安排，主要著眼于生產(chǎn)工藝布置的特點(diǎn)、要求和送、回風(fēng)管道的長短等因素。當(dāng)廠房面積不大、系統(tǒng)簡單、管線交叉不多時(shí)，可將送回風(fēng)干管布置在上部技術(shù)夾層;

當(dāng)廠房的面積較大、較長，或者系統(tǒng)劃分較多時(shí)，宜沿廠房長邊布置機(jī)房，每個(gè)系統(tǒng)可以直接與所服務(wù)的無塵室工程對應(yīng)排列;當(dāng)采用頂部技術(shù)夾層時(shí)，送回風(fēng)干管走向與屋頂承重構(gòu)件方向相平行，可以充分利用空間。有的無塵室工程，將機(jī)房設(shè)置在技術(shù)夾層的頂部，不僅縮短了風(fēng)管長度而且節(jié)省了用地。

2、分散設(shè)置，廠房面積較大或者潔凈生產(chǎn)區(qū)過于分散，集中設(shè)置機(jī)房使布置困難，在經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后，也可分設(shè)幾處機(jī)房。在技術(shù)改造工程中，往往因原有房屋空間條件所限，需將凈化空調(diào)設(shè)備分散設(shè)置在各無塵室工程的附近。分散設(shè)置方式的風(fēng)管短，布置靈活，較能適應(yīng)和利用原有空間，但在實(shí)際應(yīng)用時(shí)應(yīng)充分考慮噪聲與振動(dòng)對產(chǎn)品生產(chǎn)可能帶來的影響。

3、混合設(shè)置，在某些工程中，既使用集中式凈化空調(diào)機(jī)房供大部分潔凈生產(chǎn)區(qū)安裝的凈化空調(diào)裝置，又對特定局部空間使用分散式的凈化空調(diào)裝置，滿足生產(chǎn)工藝的需要，它兼有集中式與分散式的特點(diǎn)，更加經(jīng)濟(jì)靈活，適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。

近年來德信致遠(yuǎn)小編發(fā)現(xiàn)，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用無塵室工程廠房中常常采用隧道式送風(fēng)、集中送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)送風(fēng)方式，各類機(jī)房的布置基本采用“混合設(shè)置”的方式，即新風(fēng)處理機(jī)集中設(shè)置，循環(huán)空氣機(jī)組分散設(shè)置。

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