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凈化棚的負(fù)荷有哪些特點(diǎn)


凈化棚是控制空氣浮游粒子濃度的房間,其建設(shè)和使用方式可以大限度地減少房間進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留的粒子。房間內(nèi)的溫度、濕度、壓力等相關(guān)參數(shù)按要求控制。
凈化棚的負(fù)荷有哪些特點(diǎn)
凈化棚的四個(gè)技術(shù)要素:
送風(fēng)至少要經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾(粗濾(粗效、中效、高效),高效過(guò)濾器要設(shè)在系統(tǒng)末端。
第二,要有足夠的凈化和空調(diào)的送風(fēng)量。
三、必要的壓力梯度(正壓梯度或負(fù)壓梯度)。
第四,要有合理的氣流組織。
凈化棚的凈化空調(diào)負(fù)荷由以下部分組成:
第一,室內(nèi)負(fù)荷。
主要包括:
1.室內(nèi)操作人員的散熱和濕度負(fù)荷。
2.室內(nèi)照明燈的散熱負(fù)荷。
凈化棚圍護(hù)結(jié)構(gòu)(墻、頂、地、門(mén)、窗)的傳熱、傳濕負(fù)荷。
生產(chǎn)設(shè)備及生產(chǎn)過(guò)程中的散熱、散濕負(fù)荷。
二、新風(fēng)處理的熱濕負(fù)荷。夏天是降溫除濕;冬天是加熱加濕。
空氣循環(huán)時(shí),風(fēng)扇(或FFU)的溫升和泵的溫升負(fù)荷。
凈化棚空調(diào)負(fù)荷特性:
高級(jí)凈化棚(100級(jí)、10級(jí)、1級(jí))為垂直單向流凈化棚,其送風(fēng)機(jī)風(fēng)量極大,高達(dá)400~500次/h換氣,且風(fēng)機(jī)壓頭較高,一般多在1000~1500Pa之間,因此風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷較大。按照理論計(jì)算:在集中式送風(fēng)系統(tǒng)中,風(fēng)溫度升高到1.5℃,僅此一項(xiàng)的負(fù)荷為500~700W/m2;如采用FFU送風(fēng)方式,風(fēng)扇溫度升高的負(fù)荷為250~350W/m2。所以,風(fēng)扇溫度升高的負(fù)荷大是其負(fù)荷特征之一。
服務(wù)于微電子和光電子的高級(jí)凈化棚由于工藝排風(fēng)量大,因此新風(fēng)量也很大,新風(fēng)量一般為10~20次/h換氣;因此,處理這么多新風(fēng)的負(fù)荷約為400~800W/m2;個(gè)別工藝排風(fēng)量較大,固定新風(fēng)的負(fù)荷也較大。所以新風(fēng)負(fù)荷大是它的第二個(gè)負(fù)荷特征。
三、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷大,是高級(jí)凈化棚的第三個(gè)負(fù)荷特征。生產(chǎn)負(fù)荷的大小與技術(shù)生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、換氣、水冷卻狀況有關(guān)。
四、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱和操作人員的發(fā)熱相對(duì)較小,三種負(fù)荷之和不到總空調(diào)負(fù)荷的10%,這是高檔凈化棚的第四個(gè)負(fù)荷特征。
 


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