凈化設(shè)備潔凈度檢測之潔凈工作臺與層流傳遞窗

日期：2021-01-14 10:10 瀏覽次數(shù)：
規(guī)范檢測潔凈設(shè)備的潔凈度對提高凈化產(chǎn)品的可信任度具有至關(guān)重要的作用，現(xiàn)提供潔凈工作臺與層流傳遞窗的規(guī)范潔凈度檢測的方法，以幫助使用者能正確規(guī)范的自檢。

一、檢測工具

建議參照美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E所示，使用粒子計數(shù)器檢測潔凈工作臺與層流傳遞窗的潔凈度，推薦使用美國Met One激光粒子計數(shù)器。

二、潔凈工作臺

1、檢測位置
潔凈工作臺分水平流型和垂直流型，檢測口分別為散流板正前方300mm位置和正下方300mm的位置。
2、參考標(biāo)準(zhǔn)
ISO14644-5（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，潔凈等級100級）或按設(shè)計要求。微粒允許值：0.3um<300顆；0.5um<100顆
3、 檢測點(diǎn)位示意圖：

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